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旋转ITO靶材

产品介绍
化学组分:In2O3/SnO2(90/10或按用户要求比例); 
外观:黑色片状或管状陶瓷; 
纯度:>99.99%;
相对密度:≥99.5%;
电阻率:≤1.8×10-4Ω·cm;
线热胀系数:5×10-6K-1;
目前单片最大规格:平面靶600mm*250mm;旋转靶,内径100-200mm,壁厚≤12mm,长度≤250mm。
 
杂质含量(≤ppm)
元素 Cu Na Pb Fe Ni Cd Zn As Mg Al Si Ca
含量 5 5 5 10 5 5 5 5 2 5 10 5
 
用途:液晶显示、触摸屏、防辐射玻璃、防雾去霜玻璃、太阳能玻璃等
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